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    学术报告:高精度MEMS加速度计与自供电加速度传感器研究

    作者: 时间:2019-11-07 点击数:

    主讲人:周晓峰 副教授

    时间:2019年11月13日(星期三)下午2:30-3:30

    地点:大学城校区实验三号楼201会议室


    摘要:

          随着物联网技术与人工智能的发展,传感技术的应用与研究也变得越来越广泛,已经渗透到了各个专业领域。传感器件将现实世界中特定的物理信号,包括声、光、热、电、磁、力等转换为信息世界可以处理的电信号。这些功能与性能各异的传感器中有一类重要的传感器,就是可以测量振动或者加速度的加速度传感器。本报告针对加速度传感器的研究进展,介绍一种高精度MEMS加速度传感器和一种利用摩擦生电构建的自供电加速度传感器。主要内容包括加速度传感器的研究背景,高精度MEMS加速度传感器的设计与制备,及其在石油勘探及微小卫星的应用情况。另一方面,介绍现在传感器研究的前沿方向(自驱动传感)的一些研究进展,详细介绍如何应用摩擦发电开发一系列的自供电加速度传感器。


    主讲人简介:


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    周晓峰,2002年7月于华东师范大学电子系获学士学位,2007年6月于华东师范大学获得微电子学与固体电子学硕士学位,2012年7月于中国科学院上海微系统与信息技术研究所获得工学博士学位。2007年7月至2018年12月,在中国科学院上海微系统与信息技术研究所分别任研究实习员、助理研究员和副研究员。现任华东师范大学电子工程系副教授。长期致力于微纳机电系统(MEMS/NEMS)、传感技术和微能源技术的研究。作为项目负责人及主要骨干完成国家自然科学基金项目3项,作为主要骨干完成国家科技重大专项课题2项和国家科技部863课题2项。研制出高性能MEMS加速度传感器,为新型“全数字地震数据采集系统”重大装备的研发提供了重要支撑;研制的抗单粒子闩锁加速度传感器??橐烟峁└夜盗形⒛晌佬怯τ?;提出了一种拓扑流体二极管,为微纳功能表面/界面的研究开辟了新的理论方向和技术基础。提出的基于摩擦界面效应的纳米发电机及自供电加速度传感器的研究,自2017在国际著名能源类学术期刊《Nano Energy》已经发表多篇学术论文,引起了国际同行的广泛关注。相关工作已在Science Advances(1篇)、Nano Energy(4篇)和Nanoscale(1篇)等SCI及EI学术刊物上发表论文24篇,申请发中国发明专利10余项,其中8项已获得授权,另外还获得了3项美国专利授权。



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